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半導體材料中的Sorters是一些?
2026-03-20 15:33

Sorters(分選機)是半導體材料制造廠過程中 中沒法或缺的關鍵所在系統,核心用作晶圓的打包、分選和維護,加強組織領導生產制造標準流程的效率高與不斷性。下列是對Sorters的完整介紹英文:

1. Sorters的定義與功能
Sorters是一種自動化設備,用于對晶圓進行分類和篩選。它們能夠根據晶圓的參數(如大小、電性能、光學性能等)進行分選,并確保每個晶圓的品質符合生產要求。Sorters的主要功能包括:
- 晶圓的上下線、制程前分批、制程后合并、制程間倒片。
- 產品出廠校驗、排序、料盒交換等。


2. Sorters的重要部位

Sorters由多個關鍵部件組成,包括:
Load port(接口模塊):用于晶圓的進出,可與晶圓廠的物料傳輸系統集成。
機械臂(Robot):用于抓取和搬運晶圓,確保晶圓在設備內部的精確移動。
晶圓抓手(End effector):通過真空或夾持方式固定晶圓,保證晶圓在移動中的穩定性。
預對準器(Aligner):使用LED照明和圖像識別傳感器,精確檢測晶圓邊緣和Notch槽位置。
控制系統:協調和控制各個部件的運行,實現晶圓的自動分選和分類。

3. Sorters的應用
Sorters廣泛應用于半導體制造的多個環節,包括:
晶圓制造前的準備階段:負責晶圓的裝載和卸載。
光刻、刻蝕和離子注入過程:確保晶圓在不同加工站之間的精確傳輸。
清洗和檢測過程:提高清洗效率和檢測精度。
封裝和后道處理:將晶圓轉移到封裝設備中,進行最終的質量控制。

4. Sorters的重要性
Sorters在半導體制造中扮演著重要角色:
提高效率:通過自動化操作,減少人工干預,提高生產效率。
保證質量:確保晶圓在潔凈室環境中的清潔度和精確性。
優化流程:通過與生產線其他設備的集成,實現數據共享和流程優化。

便是,Sorters是半導體芯片器件制做中必須或缺的設配,它是根據自動式化和物聯網化的治理辦法,狠抓了晶圓的有效率分選和管理工作,為半導體芯片器件行業內的優質化量生孩子帶來了極為重要后勤保障。

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