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SKD2000 全智能晶圓檢測器臺 采用：6inch、8inch,LSI(大企業規模較集合線路)和VLSI(太大企業規模較集合線路)等晶圓檢測。
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好產品描術

適用范圍：

支持于6inch、8inch,LSI(大的數量ibms電線設計)和VLSI(超大型的數量ibms電線設計)等晶圓測試軟件。

 

指標年紀：

號碼 投資項目 方式 注
1 晶圓大小規格參數 晶圓厚度 6/8寸  
2 晶圓板厚為 150~1000μm  
3 的厚度問題 ≤+50μm  
4 Die尺寸大小 0.25~100mm  
5 Index Time 配置時期 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 精確度 ≤+2μm  
7 上限進程 250mm/s  
8 探測器日程 ≥±120mm  
9 辯別率 0.1μm  
10 Z軸 精密度較 ≤+2μm  
11 明顯車速 50mm/s  
12 旅行線路 ≥47mm  
13 判斷率 0.1μm  
14 θ 可改善範圍 ±5°  
15 辯認率 0.00007°  
16 廠務追求 線電壓 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 公稱直徑ф8  
18 真氣體源 -80~-100KPa 管子規格ф6  
19 整個機械 長寬(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 總重 1500Kg  
21 大交流電檢查 交流電區域 0~800A 選裝
22 直流高壓測驗 端電壓使用范圍 0~3000V 加配
23 大小溫自測 熱度標準 -60~200℃ 選裝
24 控溫導致精度 ±0.1℃
25 熱度安全經濟性處理 0.1℃
26 水溫平均性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%
     
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