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全自動晶圓測試探針臺SKD3000 全半自動晶圓探頭臺SKD3000是這款應用于8/12inch LSI（大面積ibms電線）和VLSI（超級大面積ibms電線）晶圓測試圖片的探頭臺。
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貨品簡述

概要：

全自功晶圓測試探針臺SKD3000是市場上用作8/12inch LSI（大數量整合式線路）和VLSI（很大數量整合式線路）晶圓測試方法的探頭臺。

 

獨到之處性能：

1、高準確度電極臺測驗方的X/Y軸的千萬位置定位準確度大約±2μm；

2、高硬性Z/θ軸能確保Chuck長的時間穩定的測驗；

3、提供數據智能裝料模塊，占有檢測器與Pad智能對位模塊。應用自立的光學儀器機系統使檢測器卡上因此的針尖才可以智能準確地扎在對應的Pad上；

4、裝置主要參數和運轉階段信心等數值也可以自主上傳或傳輸到ssd硬盤和其他計算機業系統，省事隨時看和可追溯研究。

 

參數表尺寸規格：

編號 工程項目 玩法 備注
1 機臺尺寸及克重 尺碼（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 克重 約2.2T  
3 晶圓盡寸規格 晶圓截面積 8"/12"  
4 晶圓薄厚 150~2200μm  
5 鋼板厚度較差 ≤±50μm  
6 Die厚度 0.2~100mm  
7 測驗位置 測試圖片方式 X/Y位置累計探測器  
8

θ

 可緩解條件 ±5°  
9 區分率 0.00007°  
10 X/Y軸 高精度 ≤±2μm  
11 最明顯強度 250mm/s  
12 探測器往返 ≥±160mm  
13 糞便率 0.1μm  
14 Z軸 精度等級 ≤±2μm  
15 最大化訪問速度 50mm/s  
16 形成 ≥80mm  
17 判別率 0.1μm  
18 OD空間 0~500μm  
19 Index Time 反復周期 230ms（6mm時間內的Die Z升降調節0.5mm）  
20 預對著 精準定位度 視角≤±0.5°，核心區域≤0.2mm  
21 觸碰屏 要求 15Inch五線電阻功率式  
22 大直流電壓測式 直流電使用范圍 0~800A 標準配置
23 直流電考試 額定電壓時間范圍 0~3000V 選購
24 多少溫公測 環境溫度比率 -60~200℃ 標配
25 控溫精密度 ±0.1℃
26 溫平衡性 0.1℃
27 的溫度不勻性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
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